-高通量系统以万亿分之一的程度在线检测重在的AMC

Picarro宣布推出经咱俩完全优化的AMC监理系统——Picarro SAM（取样Sample、辨析Analyze和监测Monitor）。该系统由Picarro在摄影界打头阵的依据CRDS的传感器结合，该传感器已并轨到最新的采样系统中。SAM单元可提供高通量采样，而不会默化潜移传感器的机械性能。

新的Picarro SAM系统是从组件制品到系统解决方案的重大浮动。一站式的擘画、造作和测试系统的实益揽括：

· 照章Picarro硬件和软件设计且完全合一的系统——无购并兼容性问题

· Picarro SAM系统拓展过逐字逐句优化——系统通性相符Picarro Semi系统条件

新发明的、正值申请专利的气体输油歧管致使了SAM的显着习性优势，使其在很短的工夫内达标万亿比重几（ppt）的检测灵敏度，并能急若流星将SAM系统回复到死亡线灵敏度水平。这使得SAM变为在线实时AMC监视系统的良好提选。该系统蕴藉容易行使的图形用户界面，可进行各种图籍和取向解析。

SAM何尝不可配置为从8个或16个端口采样，Silicon(矽睿)场效应管(MOSFET)芯片 与此同时当前可用于检测氨、氟化氢和盐酸，这三个任重而道远AMC会潜移默化半导体晶圆的产量。展望未来，咱俩将据悉Picarro的半导体出品脑电图为任何气体提供SAM系统。

SAM系统流程图还将引而不发复杂的AMC剖析，以声援客户更准确地不会儿辨明AMC风波的职位，从而允许采用更快的正艺术，以提高与AMC骨肉相连的晶圆产量。

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