Picarro宣布用于半导体晶圆厂的气体分子污染监测系统
2024-06-24-高通量系统以万亿分之一的程度在线检测重在的AMC Picarro宣布推出经咱俩完全优化的AMC监理系统——Picarro SAM(取样Sample、辨析Analyze和监测Monitor)。该系统由Picarro在摄影界打头阵的依据CRDS的传感器结合,该传感器已并轨到最新的采样系统中。SAM单元可提供高通量采样,而不会默化潜移传感器的机械性能。 新的Picarro SAM系统是从组件制品到系统解决方案的重大浮动。一站式的擘画、造作和测试系统的实益揽括: · 照章Picarro硬件和软件设计